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疾科技12月15日音问,IEDM 2024大会上,台积电初次披露了N2 2nm工艺的症结身手细节和机能目标:对照3nm,晶体管密度添加15%,一致功耗下机能擢升15%,一致机能下功耗低重24-35%。
新工艺还添加了NanoFlex DTCO(计划身手连结优化),可能拓荒面积最幼化、能效巩固的更矮单位,或者机能最大化的更高单位。
另表另有第三代偶极子集成,包罗N型、P型,从而赞成六个电压阈值档(6-Vt),限度200mV。
对照古代的FinFET晶体管,新工艺的纳米片晶体管可能正在0.5-0.6V的低电压下,得到明显的能效擢升,可能将频率擢升约莫20%,待机功耗低重约莫75%。
另表,台积电2nm还运用了全新的MOL中段工艺、BEOL后段工艺,电阻低重20%,能效更高。
值得一提的是,第一层金属层(M1)现正在只需一步蚀刻(1P1E)、一次EVU曝光即可竣工,大大低重了庞美丽、光罩数目。
针对高机能估计运用,台积电2nm还引入了超高机能的SHP-MiM电容,容量约莫每平方毫米200fF,可能得到更高的运转频率。
依据台积电的说法,28nm工艺此后,历经六代工艺改善,单元面积的能效比曾经擢升了高出140倍!
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